要正確區分超純水機與純水機，就需要從超純水與純水的本質區別探討，所謂的超純水即是：UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。而純水指的是：不含雜質的H2O，從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度極高的水。

超純水較純水來說，其本身的純度屬于極為精純，多到過濾系統使得水中的離子物質、有機物、無機物、微生物等物質含量都降到了極低的程度，純水則是使用符合生活飲用水衛生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當的加工方法，制得的密封于容器內，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。

超純水機是在純水機上的升華，即超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。